CERTIFICATES & IP

资质证书与知识产权

INTELLECTUAL PROPERTY

知识产权

MPCVD 全自动控制操作系统软件著作权登记证书

MPCVD 全自动控制操作系统 V1.0

一种等离子体射流的发生装置授权发明专利登记簿副本

一种等离子体射流的发生装置

真空沉积工艺中衬底的固定方法专利申请受理通知书

真空沉积工艺中衬底的固定方法

工件台及半导体工艺设备专利申请受理通知书

工件台及半导体工艺设备

一种氮化镓晶圆及其制备方法专利申请受理通知书

一种氮化镓晶圆及其制备方法

一种半导体基底材料及其制备方法专利申请受理通知书

一种半导体基底材料及其制备方法

QUALIFICATION CERTIFICATES

资质证书

SEMI S2-0724E 符合性证书

SEMI S2-0724E 符合性证书

深圳熠炽科技有限公司质量管理体系认证证书

质量管理体系认证证书（深圳）

熠炽科技（无锡）有限公司质量管理体系认证证书

质量管理体系认证证书（无锡）